기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
플라즈마 파라메타 측정용 고속 langmuir프로브 구동회로 실현 및 적용
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 플라즈마 파라메타 측정용 고속 langmuir프로브 구동회로 실현 및 적용
  • A study on fast langmuir probe driving circuit for measurement of plasma parameter and its application
저자명
신중흥,고태언,김두환,박정후
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1996년|9권 5호|pp.506-511 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

This paper deals with an inexpensive, simple and fast Langmuir probe sweeping circuit and its application. This sweeper completes a probe trace in a 1 ms order. Futhermore, the circuit drives a maximum probe voltage of $pm$30V and has a maximum probe current capability of a few amperes. The plasma parameters are successfully determined using the fast Langmuir probe method.