- 플라즈마 파라메타 측정용 고속 langmuir프로브 구동회로 실현 및 적용
- A study on fast langmuir probe driving circuit for measurement of plasma parameter and its application
- ㆍ 저자명
- 신중흥,고태언,김두환,박정후
- ㆍ 간행물명
- 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1996년|9권 5호|pp.506-511 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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