- Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 합성과 유전 특성
- ㆍ 저자명
- 장수익,최병철,장현명,Jang. Su-Ik,Choe. Byeong-Cheol,Jang. Hyeon-Myeong
- ㆍ 간행물명
- 한국재료학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1996년|6권 5호|pp.449-456 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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BaO, SrCI2.6H2O 그리고 Ti(OPri)4를 출발 원료로 사용하여 균일한 BaxSr1-xTiO3(BST) 솔을 합성하였고, BST 박막을 회전 코팅 법으로 Si 및 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 제조하였다. 적외선 및 NMR 스펙트럼 분석으로 킬레이션 조제로 사용한 acetylacetone(AcAc)이 엔올 형태로 Ti-알콕사이드와 결합하여 솔 안정화에 기여함을 확인하였다. Xedrogel에 대한 DT/TGA 및 적외선 스펙트럼 결과로부터 페로브스카이트 상생성이 $600^{circ}C$ 이상에서 이루어짐을 관찰하였다. $700^{circ}C$에서 열처리한 박마은 -300(10 KHz)의 상대유전율을 나타내었고, 결정립의 저항 및 입계의 병렬 RC 성분으로 등가회로를 구성할 수 있었다.