본 논문은 저자들에 위해 결정된 전자충돌단면적을 사용하여 몬테칼로 시뮬레이션 볼쯔만 방정식법에 의해 E/N:150∼180[Td] 범위에서 계산된 {{{{ { SF}_{ 6} }}}}가스의 전자수송 특성과 TOF법에서 구한 전자군 파라미터 값들을 나타냈다. 전자이동 속도 전자전력 또는 부착계숙, 종·횡방향 확산계수 등의 전자군 파라미터 값들은 E/N범위에서 실험치와 이론치가 일치하였다. 전자사태의 특성은 전자에너지의 비평형영역에서 고려되었다. 전자에너지 분포함수 는 평균에너지의 평형영역에 대하여 E/N:150∼180[Td]에서 해석하였다. 그 결과의 타당성은 TOF법에 의해 입증되었다.
This paper describes the electron transport characteristics in SF6 gas calculated for range of E/N values from 150~ 800[Td) by the Monte Carlo simulation and Boltzmann equation method using a set of electron collision cross sections detennined by the authors and the values of electron swarm parameters are obtained by TOF method. The results gRined that the values of the electron swarm parameters such as the electron drift velocity, the electron ionization or Rttachment coefficients, longitudinal and transverse diffusion coefficients agree with the experimental and theoretical for a range of E/N. The properties of electron avalanches is concerned electron energy non--equilibrium region. The electron energy distributions function were analysed in sulphur hexafluoride at E/N : 500~800[Td) for a case of non-equilibrium region in the mean electron energy. The validity of the results obtained has been confilll1ed by a TOF method.
