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소자 시뮬레이션을 이용한 ESD 보호용 NMOS 트랜지스터의 항복특성 분석
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  • 소자 시뮬레이션을 이용한 ESD 보호용 NMOS 트랜지스터의 항복특성 분석
  • Analysis on the breakdown characteristics of ESD-protection NMOS transistors based on device simulations
저자명
최진영,임주섭
간행물명
電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D
권/호정보
1997년|11호|pp.37-47 (11 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Utilizing 2-dimensional device simulations incorporating lattic eheating models, we analyzed in detail the DC breakdown characterisics of NMOS trasistors with different structures, which are commonly used as ESD protection transistors. The mechanism leading to device failure resulting from electrostatic discharge was explained by analyzing the 1st and 2nd breakdown characteristics of LDD devices. Also a criteria for more robust designs of NMOS transistor structures against ESD was suggested by examining the characteristics changes with changes in structural parameters such as the LDD doping concentration, the drain junction depth, the distance between source/drain contacts, and the source junction area.