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Rigorous coupled-wave analysis of antireflective surface-relief gratings
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  • Rigorous coupled-wave analysis of antireflective surface-relief gratings
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저자명
Han. Chang-Wook,Cho. Doo-Jin,Rhee. Bum-Ku
간행물명
Journal of the Optical Society of Korea
권/호정보
1997년|1권 1호|pp.26-35 (10 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Rigorous coupled-wave analysis (RCWA) with a simplified eigenvalue problem is used to investigate the an-tireflective property of one-dimensional surface-relief gratings such as binary gratings, triangular gratings and gratings with triangle-like surface profiles. The convergence of RCWA is investigated by varying the number of layers and the number of space-harmonics used in the computation. For unpolarized light normally incident on a medium of refractive index 1.64 from vaccum, a triangle-like grating shows the reflectivity of $1.6 { imes} 10^{-4}$ in contrast to a minimum reflectivity of $3.8 { imes} 10^{-3}$ for a binary grating. We also study the dependence of reflectivity on the wavelength, and on the angle of incidence for a groove shape and depth which result in minimum reflectivity.