- Fishtail Edge를 이용한 OTF 측정장치의 자동화
- ㆍ 저자명
- 김태희,최옥식,조현모,이윤우,이인원
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1997년|8권 1호|pp.7-13 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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기존에 제작된 칼날주사형 OTF 측정장치의 물체부와 상분석부를 개선하여 측정을 자동화함으로써 MTF 측정 정확도를 향상시켰다. 여러 가지 크기를 갖는 핀홀과 슬릿들을 물체로 사용하였고, fishtail edge를 상분석부의 수평방향에 45.deg로 부착시킴으로써 radial과 tangential 방향의 MTF를 동시에 측정할 수 있도록 하였다. 또한 상분석부의 스텝핑 모터 구동장치와 측정 컴퓨터 프로그램을 개선하였고, SIRA 그룹의 50nm 표준렌즈를 사용하여 OTF 측정장치의 측정 정확도를 평가하였다.
This paper describes the automation of an object generator and an image analyser in a knife scan OTF equipment to enhance the accuracy of OTF measurement. Pinholes and slits of various size in the object generator are used as an objects. A fishtail edge is mounted to the image analyzer and is translated to the direction of 45 degree angle with the horizontal to measure MTF simultaneously in the radial and tangential azimuths. The stepping motor control unit and software for the image analyzer are modified and the accuracy of this equipment is evaluated by measuring the OTF of SIRA group 50 mm standard lens.