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Ion Implantation으로 Ca를 첨가한 단결정 Al2O3의 Crack-like Pore의 Healing 거동 - I. Crack-like Pore의 형성과 Morphological Evolution
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  • Ion Implantation으로 Ca를 첨가한 단결정 Al2O3의 Crack-like Pore의 Healing 거동 - I. Crack-like Pore의 형성과 Morphological Evolution
저자명
김배연
간행물명
요업학회지
권/호정보
1997년|34권 8호|pp.834-842 (9 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Controlled Ca impurity implanted inner crack-like pore in the high purity alumina single crystal, sapphire, had been created by micro-fabrication technique, which includes ion implantation, photo-lithography, Ar ion milling, and hot press technique. The morphological change and the healing of cracklike pore in Ca doped high purity single crystal alumina, sapphire, during high temperature heat treatment in vacuum were observed using optical microscopy. The dot-like surface roughening was developed and hexagon like crystal appeared on inner surface of crack-like pore after heat treatment. Bar type crystals, probably CaO.6Al2O3, were observed on the inner surface after 1 hour heat treatment at 1, 50$0^{circ}C$, but this bar type crystal disappeared after 1 hour heat treatment at 1, $600^{circ}C$. This disappearance means that there should be a little increase of Ca solubility limit to alumina at this temperatures.