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스퍼터링 TiO$_2$막의 구조 및 광학적 성질에 미치는 열처리 효과
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  • 스퍼터링 TiO$_2$막의 구조 및 광학적 성질에 미치는 열처리 효과
저자명
박성진,이수일,오수기
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1997년|30권 1호|pp.63-68 (6 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The effects of the post-deposition annealing on the structural optical properties of sputtered $TiO_2$ thin films were studied; annealing was carried out in air up to $1000^{circ}C$ for different duration. The results of the X-ray diffraction and the raman spectroscopy showed the annealing-condition dependent structural transformation of $TiO_2$ films from the as-deposited amorphous phase to the anatase and rutil phases. The spectroscopic elliposometry was used to investigate the deposition-condition dependence of the as-deposted films optical constants and also the evolution of the optical constants correlated with the annealing-induced structural transformation.