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X선회절에 의한 Pt/Co 인공격자 다층막의 구조평가
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  • X선회절에 의한 Pt/Co 인공격자 다층막의 구조평가
저자명
김찬욱,조남웅
간행물명
한국결정성장학회지
권/호정보
1997년|7권 2호|pp.341-348 (8 pages)
발행정보
한국결정성장학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

2원동시 RF magnetron 방법을 이용하여 조건별(sputtering gas압력, buffer충 유무 및 etching여부 등)로 제작된 Pt/co 인공격자 다층막 ([$Pt10.7AA/Co2.8{AA}{ imes}{12}$])의 구조정보에 대하여 알아보았다. 다층막 구조평가는 X선 회절측정을 이용하여 행하였으며 구조에 대한 정보를 보다 면밀하게 평가하기 위해서 다층막 모델을 제작하여 얻어진 결과를 실험결과와 비교분석 하였다. 제작된 다층막 구조모델의 계산결과를 실측치와 비교하면 peak의 위치나 회절강도가 상당히 일치하였으며 이것은 구조모델이 실제의 Pt/Co 인공격자 다층막구조를 잘 반영하고 있음을 알 수 있었다.

기타언어초록

X-ray diffraction patterns of Pt/Co modulated films prepared by RF comagnetron sputtering method was investigated. Modulated films ([$Pt10.7AA/Co2.8{AA}{ imes}{12}$]) were deposited on glass substrate with various sputtering conditions : sputtering with variations of gas pressures, sputtering with Xe instead Ar gas, and etching of the buffer layers. In order to obtain the structural information of Pt/Co modulated films, the structural model was constructed and calculated data of the model were compared with experimental ones. Comparison results showed that there were good agreements in satellite peak position and its intensity between them. This suggests that the realistic Pt/Co modulated film can be reproduced by our structure model.