기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
H$_{2}$S 플라즈마 passivation 방법을 응용한 ITO/InP 위성용 태양전지의 제작
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • H$_{2}$S 플라즈마 passivation 방법을 응용한 ITO/InP 위성용 태양전지의 제작
  • Fabrication of ITO/InP solar cells by employing H$_{2}$S plasma passivation technique
저자명
이영철,한교용
간행물명
電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D
권/호정보
1998년|1호|pp.59-65 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

In order to simulataneously achieve surface type conversion and sulfur passivation of p-type InP, a Ha$_{2}$S plasma dry passivation technique was firstly proposed and successfully applied to the fabrication of ITO/InP solar cells. This new technique was expected to improve the performance of solar cells. The devices, fabricated by changing the process parameters such as RF power and plasma exposure time, were characterized and PL measurements were performed to investigate the passivation effects. As a result, H$_{2}$S plasma treated solar cells demonstrated better performance than that of (NH$_{4}$)$_{2}$S$_{x}$ treated ones.s.