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증착 후 열처리 및 표면스퍼터에 따른 ZnO 박막의 표면형상과 전기적 특성의 변화
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  • 증착 후 열처리 및 표면스퍼터에 따른 ZnO 박막의 표면형상과 전기적 특성의 변화
  • Effects of the Post-deposition Treatments of Annealing and Surface Sputter on the Surface Texture and Electricla Characteriscits of ZnO Thin Films
저자명
김병진,최정호,조남희
간행물명
한국결정학회지
권/호정보
1998년|9권 2호|pp.85-91 (7 pages)
발행정보
한국결정학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

고주파 마그네톤 스퍼터법을 이용하여 ZnO 박막 증착시, 증착 조건, 증착 후 표면스퍼터 및 열처리 분위기에 따른 ZnO 박막의 표면조직과 전기적 특성을 분석하였다. ZnO 박막의 면저항은 500℃에서 행한 증착후 열처리의 분위기에 따라 수 GΩ/ㅁ에서 수 KΩ/ㅁ까지 변하였다. 이들 박막의 전하운반자 농도는 1015∼1018/㎤이었으며, 이동도는 10∼40㎠Vsec이었다. 특정한 스퍼터 조직에서 박막의 표면을 스퍼터할 경우 박막 표면적이 증가하였으며, 이러한 박막의 분위기 열처리에 민감한 반응을 보였다. 증착한 박막과 증착후 열처리한 박막의 화학조성 비교를 통하여, 박막의 원자결함 유형 및 전기적 특성을 미치는 이들의 영향에 관한 고찰을 하였다.