- $1{times}8$ 배열, 7.8 $mu extrm{m}$ 최대반응 GaAs/AlGaAs 양자우물 적외선 검출기
- ㆍ 저자명
- 박은영,최정우,노삼규,최우석,박승한,조태희,홍성철,오병성,이승주
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|9권 6호|pp.428-432 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
장파장영역의 적외선 검출을 위해 구속비구속 상태간 전이를 이용한 GaAs/AlGaAs 이종접합 다중양자우물구조형태 검출기를 제작하여 전기적, 광학적 특성을 살펴보았다. 시료는 MBE를 이용하여 SI-GaAs(100)기판 위에 장벽 500${AA} $, 폭 40${AA} $의 양자우물구조를 25층 성장시켰으며, Al의 몰분율은 0.28로 하였고 우물의 중심부 20${AA} $은 $2{ imes}10^{18}cm^{-3}$의 농도로 Si n-도핑을 하였다. 200$ imes$200$mu extrm{m}^2$ 면적의 사각형 화소가 되도록 시료를 식각한 후 Au/Ge로 전극을 붙여 1$ imes$8 검출기 배열을 제작하였다. 10K의 온도에서 적외선 광원에 대한 광특성을 조사한 결과 1차원으로 배열한 8개의 단일소자 모두 7.8$mu extrm{m}$파장에서 최대반응을 보였으며 검출률($D^*$)은 최대 $4.9{ imes}10^9cmsqrt{Hz}/W$이었다.
We fabricated 1$ imes$8 array of GaAs/AlGaAs quantum well infrared photodetectors for the long wavelength infrared detection which is based on the bound-continuum intersubband transition, and characterized its electrical and optical properties. The device was grown on SI-GaAs(100) by the molecular beam epitaxy and consisted of 25 period of 40 ${AA} $ GaAs well and 500 ${AA} $ $Al_{0.28} Ga_{0.72}$ As barrier. To reduce the possibility of interface states only the center 20 ${AA} $ of the well was doped with Si ($N_D=2{ imes}10^{18} cm^{-3}$). We etched the sample to make square mesas of 200$ imes$200 $mu extrm{m}^2$ and made an ohmic contact on each pixel with Au/Ge. Current-voltage characteristics and photoresponse spectrum of each detector reveal that the array was highly uniform and stable. The spectral responsivity and the detectivity $D^*$ were measured to be 180,260 V/W and $4.9{ imes}10^9cmsqrt{Hz}/W$ respectively at the peak wavelength of $lambda$ =7.8 $mu extrm{m}$ and at T=10 K.