- Spray-ICP technique에 의한 $SnO_2$미분말 합성 및 박막 제조
- ㆍ 저자명
- 김정환,박종현,김영도,신건철
- ㆍ 간행물명
- 한국결정성장학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|8권 3호|pp.487-492 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국결정성장학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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ICP(Inductively Coupled Plasma)를 열원으로 출발용액의 농도변화 및 $TiO_2$ 첨가로 $SnO_2$와 $(Sn,Ti)O_2$미분말을 합성하였으며 SnO2 박막을 제조하였다. 각각 합성된 $SnO_2$ 미분말은 모두 tetragonal의 rutile형으로서 입자들의 평균입경은 30nm로 매우 미세하였으며, 좁은 입도분포를 나타내었다. $TiO_2$를 첨가하였을 경우 $SnO_2-TiO_2$ 미분말은 고용체를 이루었으며, 첨가량이 증가함에 따라 결정성은 감소하였다. ICP tail flame으로 fused quartz 기판을 가열하여 (101)면을 주 peak로 하는 $SnO_2$ 박막을 얻었다.
Ultrafine particles of $SnO_2$ or $(Sn,Ti)O_2$ and thin films of $SnO_2$ were synthesized by introducing aqueous tin chloride solution into a high temperature argon inductively coupled plasma (ICP) generated under ambient pressure (the spray-ICP technique). As-deposited $SnO_2$ particles from each concentration of solution were all tetragonal $SnO_2$ crystallline phase and their mean size decreased in proportion to the increase of solution concentration. The mean size of $SnO_2$ particles was in the 10~40 nm range.