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Heterostructure 열처리에 의한 Bi 조성 제어가 SrBi$_2$Ta$_{2-x}$Nb$_x$O$_9$ 박막의 강유전 특성에 미치는 영향
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  • Heterostructure 열처리에 의한 Bi 조성 제어가 SrBi$_2$Ta$_{2-x}$Nb$_x$O$_9$ 박막의 강유전 특성에 미치는 영향
저자명
박윤백,이전국,정형진,박종완
간행물명
요업학회지
권/호정보
1998년|35권 10호|pp.1040-1048 (9 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Ferroelectric properties of{{{{ { { { {SrBi }_{2 }Ta }_{2-x }Nb }_{x }O }_{9 } }} (SBIN) thin films were affected by the amount of Bi content in SBTN. The addition of Bi into the SBTN films could be accomplished by heat treating SBTN/Bi2O3/SBTN het-erostructures fabricated by r.f. magnetron sputtering method. The variation of Bi content was controlled by changing the thickness of the sandwiched Bi2O3 in SBTN/Bi2O3/SBTN heterostructure from 50 to 400$AA$. As changing the thickness of the sandwiched Bi2O3 in Bi2O3 films was increased from 0 to 100$AA$ the grain grew faster and the ferroelectric pro-perties were improved. On the other hand when the thickness of Bi2O3 films was thicker than 150$AA$ the fer-roelectric properties were deteriorated Especially for SBTN thin films inserted by 400$AA$ Bi2O3 layer a Bi2Phase appeared as a second phase resulting in poor ferroelectric properties. The maximum remanent po-larization (2Pr) and coercive field(Ec) were obtained for the SBTN/Bi2O3/(100$AA$)/SBTN thin films. In this case 2Pr and Ec were 14.75 $mu$C/cm2 and 53.4kV/cm at an applied voltage of 3V respectively.