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고밀도 자기기록매체용 Cr/CoPtCr/$SiO_2$ 다층박막의 자기적 성질
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  • 고밀도 자기기록매체용 Cr/CoPtCr/$SiO_2$ 다층박막의 자기적 성질
저자명
최훈,홍연기,김종오,Choi. Hun,Hong. Yeon-Gi,Kim. Jong-O
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
1998년|8권 6호|pp.560-564 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

RF magnetron sputtering법으로 Cr을 하지층으로 하여 CoPrCr 자성층을 성막한 후 보호층으로 $SiO_2$를 증착한 Cr/CoPtCr/$SiO_2$ 다층박막을 상온에서 제조하여 자기적 성질을 조사하였다. Cr 하지층 두께가 증가함에 따라 보자력이 증가하다가 거의 일정한 값을 얻었으며 최대 보자력값은 860 Oe였다. 보자력의 증가원인은 자성상의 면내 배향화와 자성 결정립간의 자기적인 분리에 의한다고 생각된다. 시편을 각 온도별로 열처리 함으로써 보자력이 크게 증가하였으며,$ 550^{circ}C$에서 1시간 열처리한 박막의 보자력은 1650 Oe였다.

기타언어초록

CoPtCr magnetic layer was fabricated on the Cr underlayer by RF magnetron sputtering and the protective $SiO_2$ layer was deposited at room temperature. As the thickness of Cr underlayer increased, the coercive force of magnetic layer increased, then saturated slightly further increasing Cr underlayer thickness. Maximum coercive force was 860 Oe. It is thought that in-plane arrangement of magnetic phase and magnetic decoupling between the magnetic crystallites could lead to the increase of the coercive force. Post-annealing raised the coercive force exceedingly. and maximum coercive force value was 1650 Oe which was acquired from the sample annealed at 55$0^{circ}C$ for 1hr.