$ extrm{SrTiO}_3$ 기판 위에 계단형 모서리 제작 및 $ extrm{YBa}_{2} extrm{Cu}_{3} extrm{O}

$ extrm{SrTiO}_3$ 기판 위에 계단형 모서리 제작 및 $ extrm{YBa}_{2} extrm{Cu}_{3} extrm{O}_{7-delta}$계단형 모서리 접합의 특성 연구

ㆍ 저자명: 남병창,김인선,이순걸,박종철,박용기,Nam. Byeong-Chang,Kim. In-Seon,Lee. Sun-Geol,Park. Jong-Cheol,Park. Yong-Gi
ㆍ 간행물명: 한국재료학회지
ㆍ 권/호정보: 1998년|8권 10호|pp.950-955 (6 pages)
ㆍ 발행정보: 한국재료학회
ㆍ 파일정보: 정기간행물|
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ㆍ 주제분야: 기타

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서지반출

기타언어초록

Ar 이온 식각법을 이용하여 (001) SrTiO3(STO) 단결정 기판 위에 200nm 높이의 계단형 모서리를 제작하였다. 계단식은 입사하는 Ar 이온 빔에 대한 Ar 이온 입사각과 마스크 회전각을 조절함으로써 38$^{circ}$-70$^{circ}$의 넓은 범위로 제어할 수 있었다. 초전도 YBa2Cu3O7-$delta$박막은 계단이 있는 STO 기판 위에 펄스레이저 증착법을 이용하여 증착하였으며, 박막의 두께는 계단 높이에 대한 박막의 두께비가 0.5-1.2가 되도록 하였다. 계단형 모서리 조셉슨 접합의 임계전류밀도와 IcRn값은 77K에서 각각 104A/$ extrm{cm}^2$, 70-200$mu$V이었다.

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