- 병렬 안테나에 따른 플라즈마원의 균일도 연구
- ㆍ 저자명
- 배근희,서상훈,장홍영
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|7권 3호|pp.273-276 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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안테나에 따른 플라즈마 밀도의 균일도 연구를 위해 병렬 안테나를 설계하고 이중 랑뮤어 탐침과 자기장 측정 탐침을 이용하여 각각의 플라즈마 밀도와 자기장의 세기를 측정 하였다. 나비형 안테나를 사용했을 때 플라즈마 밀도가 ~$2 imes10^{11}( extrmcm^{-3})$로 다른 두 안테나를 사용했을 때보다 높았으며, 전자의 온도는 2eV 이하로 동일한 조건에서의 나선형 안테나보 다 낮게 나왔다. 또 전류의 방향이 서로 다른 두 개의 안테나선이 가까이 있거나 안테나 성 분끼리 양성 결합(positive coupling)을 하는 경우에는 동력 효율(power efficiency)이 매우 낮아졌다.
Three different parallel antennas are designed to investigate plasma uniformity and magnetic field using a double Langmuir probe and a magnetic probe. Butterfly antenna has the highest density of ~~$2 imes10^{11}( extrmcm^{-3})$ among the three antennas and has electron temperature less than 2 eV, lower than the spiral antenna. It is found that the power efficiency becomes lower with spaced parallel antenna elements due to oppositely directed currents and positive coupling.