- 전기화학적 에칭법에 의한 텅스텐 와이어의 Sharp tip 제조에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 우선기,이홍로
- ㆍ 간행물명
- 한국표면공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|31권 1호|pp.45-53 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국표면공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
Sharp tips are commonly used for applications in fields as diverse as nanolithography, lowvoltage field emitters, emitters, nanoelectroniecs, electrochemisty, cell biology, field-ion and electron microscopy. tungsten wire, mater만 used in this experiment, which test the chip of wafer has been used to the needle of probe card. Tungsten wire was sharpened by electrochemical etching methode to get a typical tip shape.