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DC Magnetron Sputtering법으로 제작한 Ti$_{x}$N박박의 부식특성에 미치는 코팅조건과 첨가원소의 영향
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  • DC Magnetron Sputtering법으로 제작한 Ti$_{x}$N박박의 부식특성에 미치는 코팅조건과 첨가원소의 영향
저자명
김학동,이봉상,조성석
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1998년|31권 5호|pp.251-260 (10 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Stainless Steel is being used widely for various purposes due to its good corrosion resistance. There have been many researches to produce colored stainless steel by several methods such as anodizing and ion-plating. In this experiment, we $Ti_XN$(C,O) on the films SUS304, aluminium, and glass substrates with DC magentron sputterinng system made by Leybold Hereus, and strdied the structur, corrsion and pit characture of the TiXN observed by TeM image was black and whink and white columnar hed a very fine(200$AA$) dense sturcture,and the diffraction resistance at the $3{ imes}10_6A/ extrm{cm}^2$ and $10_{10} imes{cm}^2$current density were obtained in the under-stoichiometry $Ti_xN$ compound of Ar/$N_2$(Ar:$N_2$=100:6, titanium-rich compound) and the over-stoichiometry compound of Ar/$N_2$((Ar:$N_2$=60:15) respectively. When the thiness was over 1.64$mu extrm{m}$, good pit resistance could be obtained and its improvement was especially affected by perfect surfaceface. Typical TiN anodic polarzation curves of very unstable corrosion were observed by $Ti_xN$ film on the glass and perfect film of 3.28$mu extrm{m}$ thickness.