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MOD법에 의해 제조된 $NO_x$ 가스용 반도체 박막센서의 특성
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  • MOD법에 의해 제조된 $NO_x$ 가스용 반도체 박막센서의 특성
저자명
송수호,송민석,이재열
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
1998년|11권 11호|pp.1001-1006 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$WO_3$ based semiconduction sensor have been reported to have excellent sension properties to $NO_x$ gases by many researchers. In this study appropriate $WO_3$ precursor have been chosen and thin film sensors were fabricated by metallo organic deposition process. Their sensing characteristics were investigated as a function of NO concentration, heat treatment, and measuring temperature. Tungsten dichloro triethoxide was found to be a good precursor for $WO_3$ thin film in this method. Samples heat treated at $600^{circ}C$ showed sensitivity (S) 200 to 50 ppm NO gas when measuring temperature was $150^{circ}C$.