- 클린룸 기술과 마이크로시스템 엔지니어링
- ㆍ 저자명
- (사)한국공기청정협회
- ㆍ 간행물명
- 空氣淸淨技術
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|11권 4호|pp.78-81 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국공기청정협회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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클린룸 기술과 관련하여 현재 마이크로시스템 엔지니어링은 15년 전의 반도체 산업과 같은 상황에 처해 있다. 대부분의 시행착오는 이미 과거에 다 겪었다. 현재 중요한 과제는 이용할 수 있는 모든 경험을 동원하고 모든 필요한 경우(제품)에 클린룸 기술을 적용하는 것이다. 이것은 각 경우에 있어서 최저 비용으로 이루어져야 한다. 이 목적을 달성하기 위한 해결책이 바로 로컬 클린룸 기술이다.