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클린룸 기술과 마이크로시스템 엔지니어링
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  • 클린룸 기술과 마이크로시스템 엔지니어링
저자명
(사)한국공기청정협회
간행물명
空氣淸淨技術
권/호정보
1998년|11권 4호|pp.78-81 (4 pages)
발행정보
한국공기청정협회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

클린룸 기술과 관련하여 현재 마이크로시스템 엔지니어링은 15년 전의 반도체 산업과 같은 상황에 처해 있다. 대부분의 시행착오는 이미 과거에 다 겪었다. 현재 중요한 과제는 이용할 수 있는 모든 경험을 동원하고 모든 필요한 경우(제품)에 클린룸 기술을 적용하는 것이다. 이것은 각 경우에 있어서 최저 비용으로 이루어져야 한다. 이 목적을 달성하기 위한 해결책이 바로 로컬 클린룸 기술이다.