- ZnO:In 박막 $NH_3$ 가스센서의 제작 및 특성
- ㆍ 저자명
- 김진해,전춘배,박기철,Kim. Jin-Hae,Jun. Choon-Bae,Park. Ki-Cheol
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1999년|8권 3호|pp.274-282 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
암모니아가스에 민감한 In이 도핑된 ZnO(ZnO:In) 박막을 In 박막($100;{AA}$) 및 ZnO박막($3000;{AA}$)의 연속적인 증착과 열처리공정을 통하여 제조하였다. 기판은 $1000;{AA}$의 산화막이 열적으로 성장되어 있는 Si 기판을 사용하였다. In/ZnO 박막 이중층의 열처리온도에 따른 구조적 및 전기적 특성을 X-선회절기, 주사전자현미경 및 4점측정시스템을 통하여 조사하였다. 이들 막에 대하여 열처리온도에 따른 암모니아가스에 대한 감도, 선택성 및 시간응답특성을 구하였다. 열처리온도 $400^{circ}C$, 동작온도 $300^{circ}C$에서 100 ppm의 암모니아가스를 주입한 결과 140%의 최대감도를 나타내었으며 CO, $NO_x$ 가스에 대한 감도는 아주 낮은 것으로 나타났다.
The In doped ZnO(ZnO:In)thin films sensitive to $NH_3$ gas were prepared by the double layer depositions of In film by vacuum evaporation and ZnO film by rf magnetron sputtering method onto a $SiO_2$/Si wafer substrate, and subsequent heat treatment process. The structural and electrical characteristics of the ZnO:In thin films were studied as a function of heat treatment temperature by x-ray diffraction, scanning electron microscope and 4 point probing method. And the dependence of the sensitivity, the selectivity and the time response of the thin films on heat treatment temperature was investigated. The thin film heat-treated at $400^{circ}C$ showed the highest sensitivity of 140% at an operating temperature of $300^{circ}C$. The sensitivity towards CO, $NO_x$, gases observed in the same temperature.