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정전형 마이크로 액추에이터를 이용한 초고밀도 HDD용 Dual-Stage 서보 시스템
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  • 정전형 마이크로 액추에이터를 이용한 초고밀도 HDD용 Dual-Stage 서보 시스템
저자명
김승한,성우경,이효정,이종원,최정훈,안영재,전국진,김봉환,Kim. Seung-Han,Seong. U-Gyeong,Lee. Hyo-Jeong,Lee. Jong-Won,Choe. Jeong-Hun,An. Yeong-Jae,Jeon.
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
1999년|48권 2호|pp.153-160 (8 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Dual-stage servo system for super-high density HDD has the chances of being composed of the coarse actuator(VCM) for track-seeking control and the fine actuator(microactuator) for-following control in near future. This paper presents the concept design of dual-stage servo system and the track-following control using an electrostatic microactuator for super-high density HDD. The electrostatic microactuator is designed and fabricated by MEMS(micro-electro-mechanical system) process. Both the nonlinear plant(voltage/displacement-to-electrostatic force) and the linear plant(electrostatic force-to-displacement) of the microactuator are established. Inverse function of the nonlinear plant is employed for a feedforward nonlinear compensator design. And feedforward control effect of this compensator is shown by time-domain experiments. A track-following feedback controller is designed using the feedback nonlinear compensator which is derived from the feedforward nonlinear compensator. The track-following control experiment is done to show the control efficiency of the proposed control system. And, excellent track-following control performance(2.21kHz servo-bandwidth, 7.51dB gain margin, $50.98^{circ}$phase margin) is achieved by the proposed control system.