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다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화에 따른 전기적 스트레스의 영향
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  • 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화에 따른 전기적 스트레스의 영향
저자명
황성수,황한욱,김용상,Hwang. Seong-Su,Hwang. Han-Uk,Kim. Yong-Sang
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
1999년|48권 5호|pp.367-372 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have investigated the effects of electrical stress on poly-Si TFTs with different hydrogen passivation conditions. The amounts of threshod voltage shift of hydrogen passivated poly-Si TFTs are much larger than those of as-fabricated devices both under the gate only and the gate and drain bias stressing. Also, we have quantitatively analyzed the degradation phenomena by analytical method. We have suggested that the electron trapping in the gate dielectric is the dominant degradation mechanism in only gate bias stressed poly-Si TFT while the creation of defects in the channel region and $poly-Si/SiO_2$ interface is prevalent in gate and drain bias stressed device.