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Langmuir 프로브 전압의 파형에 따른 아르곤 플라즈마의 전자에너지 분포함수 측정에 관한 연구
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  • Langmuir 프로브 전압의 파형에 따른 아르곤 플라즈마의 전자에너지 분포함수 측정에 관한 연구
저자명
김두환,박정후,Kim. Du-Hwan,Park. Jeong-Hu
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
1999년|48권 5호|pp.391-395 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we have obtained the Electron Energy Distribution Function(EEDF) in plasma by using two differentiators and investigated the EEDFs by sawtooth and triangle waveform voltages with the working pressures and the positions of single probe. It is found that as the working pressure is decreased, the EEDFs approach to theMaxwellian distribution independent of the waveforms of probe voltage. On the otherhand, as the position of probe is moved from the center of the plasma to its edge, the EEDF of sawtooth waveform probe voltage approaches to the Maxwellian distribution, but the EEDF of triangle waveform probe voltage deviates from the Maxwellian distribution.