- CVD법을 이용한 $alpha$-Fe$_2$O$_3$박막 가스센서의 제조 및 물성평가
- ㆍ 저자명
- 최성민,이세훈,최성철
- ㆍ 간행물명
- 한국결정성장학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1999년|9권 3호|pp.280-285 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국결정성장학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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화학기상증착법 (CVD) 으로 $alpha$-Fe$_2$O$_3$ 박막가스센서를 제조하여 NO가스에 대한 검지감도 특성을 조사하였다. 150~$250^{circ}C$로 증착온도를 변화시키면서 $alpha$-Fe$_2$O$_3$ 박막을 증착하였을 때 $175^{circ}C$와 20$0^{circ}C$에서 증착한 박막은 $alpha$-Fe$_2$O$_3$상이 나타났으나 $250^{circ}C$에서 증착한 시편에서는 ${gamma}$-Fe$_2$O$_3$상이 나타났다. X-선 회절분석으로 증착 및 열처리 조건에 따른 결정립의 크기변화를 조사한 결과 증착온도가 증가하거나 열처리시에 결정리이 성장함을 알 수 있었다. 가스검지감도 측정결과 175$^{circ}C$에서 증착한 시편의 감도가 가장 좋은 것으로 나타났고, 이때 NO 가스 250ppm에 대한 검지감도는 3.2, 100ppm일때의 응답시간은 12초였다.
$alpha$-$Fe_2O_3$ thin film gas sensors were deposited at various temperature by CVD method. Polycrystalline $alpha$-$Fe_2O_3$ thin films were deposited at $175^{circ}C$ and $200^{circ}C$. $gamma$-$alpha$-$Fe_2O_3$ phase was obtained when the deposition temperature was higher than $250^{circ}C$. The crystallite size of $alpha$-$Fe_2O_3$ was affected by the deposition and annealing temperature. The specimen deposited at $175^{circ}C$ showed maximum sensitivity. In this condition, the sensitivity of $alpha$-$Fe_2O_3$ thin film for NO gas (at 250 ppm) was 3.2 and response time (at 100ppm) was 12 second.