- Mn-Ir/Ni-Fe 다층막의 하지층과 적층구조에 따른 교환이방성과 미세구조 연구
- ㆍ 저자명
- 노재철,윤성용,이경섭,김용성,서수성
- ㆍ 간행물명
- 韓國磁氣學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1999년|9권 4호|pp.196-202 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국자기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
본 연구에서는 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 Mn-Ir/Ni-Fe/Buffer/Si 다층막에서 다양한 하지층과 적층구조에 따른 교환이방성과 미세구조에 대하여 고찰하였다. Ni-Fe 위에 Mn-Ir을 증착한 Top 구조의 경우에서는 (111) 우선방위에 상관없이 165 Oe 이상의 높은 Hex 값을 얻을수 있었다. 또한 Mn-Ir/Ni-Fe 계면에서 grain-to-grain epitaxy가 발생함을 알 수 있었다. 따라서 Mn-Ir/Ni-Fe 다층박막의 Hex는 Mn-Ir/Ni-Fe 계면에서의 Mn-Ir의 결정립 크기와 grain-to-grain epitaxy에 의존하며 Hc는 Mn-Ir/Ni-Fe의 계면거칠기에 의존한다는 것을 알 수 있었다.
The magnetic properties and the microstructures of the Mn-Ir/Ni-Fe multilayers with various stacking structures and buffer layer materials have been investigated. The (111) texture of Mn-Ir/Ni-Fe was observed in the top structures with Ta, Zr, or Ti buffer materials. However, all Mn-Ir/Ni-Fe multilayers with top structures exhibit high $H_{ex}$, regardless of the (111) preferred orientation of Mn-Ir film. The samples whose high $H_{ex}$ observed grain-to-grain epitaxial tendency and the large grain of Mn-Ir film at the interface. It can be explained that the $H_{ex}$ does not depend on the (111) texture of the Mn-Ir film and the interface roughness, but depends on the grain size of the Mn-Ir film and the morphology of the interface between the Mn-Ir and the Ni-Fe grains, and the $H_c$ depends on the interface roughness between the Mn-Ir and the Ni-Fe films.