기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Molecular Beam Epitaxy Grouth of $ extrm{LaAlO}_3$ Thin Film by a Pulsed laser Deposition Technique
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Molecular Beam Epitaxy Grouth of $ extrm{LaAlO}_3$ Thin Film by a Pulsed laser Deposition Technique
  • Molecular Beam Epitaxy Grouth of $ extrm{LaAlO}_3$ Thin Film by a Pulsed laser Deposition Technique
저자명
김인선,허남회,박용기,Kim. In-Seon,Heo. Nam-Hoe,Park. Yong-Gi
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
1999년|9권 1호|pp.25-29 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

We have developed a laser molecular beam epitaxy system for the layer-by-layer growth of oxide thin films. Using this system, we could grow and control oxide thin films of LaAlO$_3$in a molecular layer epitaxy mode on the atomically flat SrTiO$_3$ substrate with a LaAlO$_3$single crystal target. Very clear RHEED oscillations were observed during to growth of a LaAlO$_3$ film for a long period under the optimized conditions of substrate temperature at $650^{circ}C$, oxygen pressure at 1$ imes$10ulcorner torr, and an incident laser fluence of 4.6J/$ extrm{cm}^2$. The height of mono-layer-LaAlO$_3$ film grown during one period of RHEED intensity oscillation was 3.8$AA$.