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2축 이송계 정밀도 측정을 위한 레이저 간섭계 4축 자동정렬장치 개발
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  • 2축 이송계 정밀도 측정을 위한 레이저 간섭계 4축 자동정렬장치 개발
저자명
김현수,홍성욱,Kim. Hyun-Soo,Hong. Seong-Wook
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2000년|17권 9호|pp.75-80 (6 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Although laser interferometer is widely accepted as a tool for measurement of motion accuracy the set-up procedure is time-consuming because of the strict requirement on alignment between laser head and optic units. This paper presents a 4-axis auto-aligning system which is useful for easy set-up of laser interferometer so as to evaluate precision of a 2-axis feeding system. This paper proposes two ideas for alignment in laser interferometer set-up: one is use of mirror and retroreflectors. and the other is taking advantage of the pre-defined movement and peculiar characteristic of retroreflecotrs. The pros and cons of the two methods are discussed. Illustrative experimental results are presented in which the developed system is applied to a XY table.