기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Al 합금에 MO-PACVD법으로 증착시킨 Ti(CN) 코팅 층의 물성에 관한 연구
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Al 합금에 MO-PACVD법으로 증착시킨 Ti(CN) 코팅 층의 물성에 관한 연구
저자명
김태형,김선규
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2000년|33권 1호|pp.38-47 (10 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

A Ti(CN) layer was formed on aluminum alloy by using diethylamino titanium, hydrogen and nitrogen with the pulsed DC PACVD process. Effect of process parameters such as precursor evaporation temperature, duty ratio, frequency, voltage, $H_2$/$N_2$gas ratio on the properties of Ti(CN) layer were investigated. The layer thus obtained had high hardness and low friction coefficient. Detailed results on the hardness, surface morphology, XRD, WDS analysis, wear test and scratch test of this layer are presented.