- Al 합금에 MO-PACVD법으로 증착시킨 Ti(CN) 코팅 층의 물성에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 김태형,김선규
- ㆍ 간행물명
- 한국표면공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|33권 1호|pp.38-47 (10 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국표면공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
A Ti(CN) layer was formed on aluminum alloy by using diethylamino titanium, hydrogen and nitrogen with the pulsed DC PACVD process. Effect of process parameters such as precursor evaporation temperature, duty ratio, frequency, voltage, $H_2$/$N_2$gas ratio on the properties of Ti(CN) layer were investigated. The layer thus obtained had high hardness and low friction coefficient. Detailed results on the hardness, surface morphology, XRD, WDS analysis, wear test and scratch test of this layer are presented.