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측온저항체 온도센서가 집적화된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 제작 및 특성
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  • 측온저항체 온도센서가 집적화된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 제작 및 특성
저자명
정귀상,홍석우
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2000년|13권 7호|pp.612-616 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes on the fabrication and characteristics of hot-film type micro-flowsensors integrated with Pt-RTD(resistance thermometer device) and micro-heater on the Si membrane in which MgO thin-film was used as medium layer in order to improve adhesion of Pt thin-film to SiO$_2$layer. The MgO layer improved adhesion of Pt thin-film to SiO$_2$layer without any chemical reactions to Pt thin-film under high annealing temperatures. Output voltages increased due to increase of heat-loss from sensor to external. The output voltage was 82 mV at $N_2$flow rate of 2000 sccm/min heating power of 1.2 W. The response time($ au$:63%) was about 50 msec when input flow was stepinput