- Nd-YAG Pulsed Laser Ablation법으로 제작한 SmCo계 박막의 자기특성
- ㆍ 저자명
- 김상원,양충진
- ㆍ 간행물명
- 韓國磁氣學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|10권 1호|pp.30-36 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국자기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Q switch mode 혹은 Fixed Q mode Nd-YAG 레이저 어블레이션법으로 (100)Si 기판위에 SmCo 박막을 증착하였다. 증착시 Sm$_{100-x}$Co$_{x}$ (73$leq$x$leq$93) 조성의 타겟을 사용하였고, 기판온도는 600~$700^{circ}C$ 변화시켰으며 각 mode 에너지를 조절하였다. Q switching mode로 증착된 박막의 4$pi$Ms, $_{i}$H$_{c}$ 및 4$pi$M$_{r}$/4$pi$M$_{s}$는 각각 5.2~7.7 kG, 190~250 Oe, 0.4~O.74이었다. 반면, Fixed Q mode로 얻어진 박막의 $_{i}$H$_{c}$, 4$pi$M$_{r}$/4$pi$M$_{s}$는 각각 430~6290 Oe, 0.32~0.91로 훨씬 양호한 경자기 특성이 나타났다. 후자의 자기특성은 박막에 존재하는 입자(droplet)내 SmCo$_{5}$ 와 Sm$_2$Co$_{17}$상의 생성에 의한 것으로 판단된다. 입자의 존재로 인한 박막표면의 거칠기는 향후 연구에서 해결되어야 할 문제점으로 확인되었다.문제점으로 확인되었다.었다.
SmCo films were deposited on Si(100) substrate by a Nd-YAG pulsed laser ablation of the targets of Sm$\_$100-x/Co$\_$x/ (73$leq$x$leq$93) at the substrate temperature of 600∼700$^{C}$ and the laser beam energy density of Q switching mode or fixed Q mode. The magnetic properties of the films obtained from the Q switching mode exhibited a 4 $pi$ Ms of 5200∼7700 Gauss, iHc of 190-250 Oe, and 4$pi$M$\_$r//4$pi$M$\_$s/ of 0.4∼0.74, respectively, while the fixed Q mode gave the magnetic properties of corresponding films of a 4$pi$M$\_$r//4$pi$M$\_$s/ = 0.32∼0.91 and iHc of 430-6290 Oe, respectively. The fixed Q mode gave the better magnetic properties of the SmCo films which seems to be due to a formation of magnetically hard minor phases in droplet of Sm-rich intermetallics. However, the resultant rough surface of the SmCo films is a problem to be solved by a continued study.