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Stereolithography 기술을 이용한 마이크로 펌프 제작
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  • Stereolithography 기술을 이용한 마이크로 펌프 제작
저자명
이영태,서희돈,Lee. Young-Tae,Seo. Hee-Don
간행물명
센서학회지
권/호정보
2001년|10권 4호|pp.232-238 (7 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 논문에서는 Stereolithography 기술을 이용하여 마이크로 펌프를 제작했다. 펌프는 구동에 PZT를 사용하고, diffuser/nozzle 개념의 non-movable 밸브를 사용하여 제작했다. 펌프의 크기는 챔버$14mm{psi}$, diffuser/nozzle의 크기는 좁은 쪽의 구멍은 $0.5mm{psi}$, 넓은 쪽의 구멍은 $1mm{psi}$로 제작하고, 챔버의 깊이는 1.2mm이다. 펌프는 주파수 100Hz, 인가 전압 $90{sim}250Vp-p$ 사이에서 구동시켜, 그 동작을 확인했다. 측정 결과, 펌핑 용액이 에탄올 일 때, 인가 전압 200V, 100Hz로 구동했을 때, 53mm의 수두차를 나타냈다.

기타언어초록

We fabricated micro-pump using stereolithography technology. The pump was fabricated using PZT for its drive and used non-movable valve of diffuser/nozzle concept. Size of the pump chamber is, $14mm{psi}$, narrow hole of diffuser/nozzle is $0.5mm{psi}$ and wide hole $1mm{psi}$ and chamber depth is 1.2mm, respectively. We confirmed its operation at frequency 100Hz, supply voltage $90{sim}250Vp-p$. As the result of the pump working measurement, when ethanol is used, the pressure head difference between inlet and outlet of the pump is about 53mm in the frequency of 100Hz, 200V of Vp-p.