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  • 방사형 자기장 내의 전기도금된 평면코일을 이용한 전자기형 마이크로 액추에이터
저자명
류지철,강태구,조영호,Ryu. Ji-Cheol,Gang. Tae-Gu,Jo. Yeong-Ho
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2001년|25권 1호|pp.16-24 (9 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents an electromagnetic microactuator using the copper coil electroplated on the p+silicon diaphragm. The microactuator generates a vertical motion of the diaphragm using the radial direction, we propose a new actuator structure with twin magnets. The microactuator field in the radial direction, we propose a new actuator structure with twin magnets. The microactator shows a values of resonant frequency and quality factor in the ranges of 10.51${pm}$0.22kHz and 46.6${pm}$3.3, respectively. The twin magnet microactuator generates the maximum peak-to-peak amplitude of 4.4$mu extrm{m}$ for the AC rms current of 26.8mA, showing 2.4 times larger amplitude than the single magnet microactuator.