- 표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석
- ㆍ 저자명
- 김종팔,한기호,조영호,Kim. Jong-Pal,Han. Gi-Ho,Jo. Yeong-Ho
- ㆍ 간행물명
- 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|25권 3호|pp.529-536 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
