- 순차 증착에 의한 BSCCO 박막의 에피택셜 성장
- ㆍ 저자명
- 안준호,박용필,김정호
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|14권 10호|pp.855-860 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Bi$_2$Sr$_2$CuO$_{x}$(Bi-2201) thin film were fabricated by atomic layer-by -layer deposition using an ion beam sputtering method. 10 wt% and 90 wt% ozone mixed oxygen were used with ultraviolet light irradiation to assist oxidation. XRD and RHEED investigations revealed that a buffer layer is formed at the early stage of deposition (less than 10 unit cell), and then c-axis oriented Bi-2201 grows on top of it.t.