- 세라믹 다이어프램을 이용한 후막 스트레인 게이지 압력센서
- ㆍ 저자명
- 이성재,박하용,민남기
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|14권 12호|pp.987-993 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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In this paper, we presents the construction details and output characteristics of a thick film piezoresistive strain gage. The thick film was printed on the ceramic diaphragm back side by screen printing and cured at 850$^{circ}C$. The strain distribution and deflection on ceramic diaphragm were performed with finite-element method(FEM tool ANSYS-5.3). Various thick film strain gage characteristics were analysed, including nonlinearity, hysteresis, stability and sensitivity of thick film strain gages.