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Homodyne 간섭계에서의 비선형성 측정과 보정
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  • Homodyne 간섭계에서의 비선형성 측정과 보정
저자명
김종윤,엄태봉,정규원,최태영,이건희,Kim. Jong-Yun,Eom. Tae-Bong,Jeong. Kyu-Won,Choi. Tae-Young,Lee. Keon-Hee
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2001년|18권 9호|pp.171-178 (8 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The nonlinearity of a laser interferometer usually ranges from sub-nanometer to several manometers. This nonlinearity, which has periodic characteristics, limits the accuracy of the interferometer at the sub-nanometer level. The nonlinearity error of the one-frequency homodyne interferometer with quadrature fringe detection results from a number of factors including polarization mixing by imperfect optical elements, unequal gain of photo detectors, lack of quadrature between two signals and misalignment. In this paper, we described a method for measuring and compensating the nonlinearity of homodyne interferometer using the elliptical fitting technique with least-square method. Experimental results demonstrate that $^pm$3.5 nm nonlinearity can be reduced to $^pm$0.2 nm level.