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Heterodyne Optical Interferometer using Dual Mode Phase Measurement
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  • Heterodyne Optical Interferometer using Dual Mode Phase Measurement
  • Heterodyne Optical Interferometer using Dual Mode Phase Measurement
저자명
Yim. Noh-Bin
간행물명
International journal of the Korean society of precision engineering
권/호정보
2001년|2권 4호|pp.81-88 (8 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We present a new digital phase measuring method for heterodyne optical interferometry, which providers high measuring speed up to 6 m/s with a fine displacement resolution of 0.1 nanometer. The key idea is combining two distinctive digital phase measuring techniques with mutually complementary characteristics to earth other one is counting the Doppler shift frequency counting with 20 MHz beat frequency for high-velocity measurement and the other is the synchronous phase demodulation with 2.0 kHz beat frequency for extremely fine displacement resolution. The two techniques are operated in switching mode in accordance wish the object speed in a synchronized way. Experimental results prove that the proposed dual mode phase measuring scheme is realized with a set of relatively simple electronic circuits of beat frequency shifting, heterodyne phase detection. and low-pass filtering.