교류구동형 플라즈마 표시소자의 보호막으로 사용되는 MgO의 특성향상을 위하여 기존의 MgO에 양이온이 등전적으로 치환될 수 있는 ZnO를 소량 첨가하여 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O박막을 성장시키고 박막의 전기적, 광학적 특성을 조사하였다. ZnO농도가 0.5 at%, 1at%인 $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O 박막을 보호막으로 갖는 PDP 테스트 판넬을 제작하고 ZnO의 첨가가 소자의 방전전압과 메모리 이득에 미치는 영향을 살펴보았다. ZnO농도가 0at%, 0.5 at%, 1at%인 $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O 박막의 광투과율은 ZnO 첨가에 따라 변화를 보이지 않으나 유전상수는 다소 증가하는 경향을 보였다. ZnO의 농도가 0.5 at%인 $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O 박막을 보호막으로 갖는 PDP 소자의 방전개시전압과 방전유지 전압이 MgO 박막을 보호막으로 갖는 소자에 비해 20V까지 낮아졌고, 결과적으로 메모리계수는 다소 증가하였다. ZnO농도가 0.5 at%, 1at%인 $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O 박막을 보호막으로 갖는 소자에서 ZHO의 첨가에 비례하여 방전세기 (플라즈마 밀도)가 증가하였다.도)가 증가하였다.도)가 증가하였다.
M $g_{1-x}$ Z $n_{x}$O thin films with various composition x of ZnO were fabricated by a RF magnetron sputtering method, which is expected to improve the electro-optical properties of the conventional MgO protective layer for AC-PDP. Test panels with the $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O protective layer have been fabricated in order to investigate the effects of ZnO doping on the electrical characteristics of devices such as the discharge voltages and the memory gain. Experimental results revealed that test panels with the $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O(x=0.5at%) protective layer show lower firing and sustain voltages than those seen in panels with MgO protective layer by 20V. resulting in an increasement of the memory coefficient. In addition, it was found that test panels with the $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O protective layer show higher discharge intensity, i. e., higher plasma density, compared with panels with MgO protective layer.ve layer.layer.
