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이온 질화에 의해 크롬 도금 층 위에 형성된 크롬 질화물의 성장에 관한 전산 모사
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  • 이온 질화에 의해 크롬 도금 층 위에 형성된 크롬 질화물의 성장에 관한 전산 모사
저자명
엄지용,이병주,남기석,권식철,권혁상
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2001년|34권 3호|pp.231-239 (9 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The structure and composition of Cr-nitrides formed on an electroplated hard Cr layer during an ionnitriding process was analyzed, and the growth kinetics of the Cr-nitrides was examined as a function of the ion-nitriding temperature and time in order to establish a computer simulation model prediction the growth behavior of the Cr-nitride layer. The Cr-nitrides formed during the ion-nitriding at $550~770^{circ}C$ were composed of outer CrN and inner $Cr_2$N layers. A nitrogen diffusion model in the multi-layer based on fixed grid FDM (Finite Difference Method) was applied to simulate the growth kinetics of Cr-nitride layers. By measuring the thickness of each Cr-nitride layer as a function of the ion-nitriding temperature and time, the activation energy for growth of each Cr-nitride was determined; 82.26 KJ/mol for CrN and 83.36 Kj/mol for $Cr_2$N. Further, the nitrogen diffusion constant was determined in each layer; $9.70$ imes$10^{-12}$</TEX> /$m^2$/s in CrN and $2.46$ imes$10^{-12}$</TEX> $m^2$/s in $Cr_2$N. The simulation on the growth kinetics of Cr-nitride layers was in good agreements with the experimental results at 550~72$0^{circ}C$.