- Integration Process and Reliability for $SrBi_2$ $Ta_2O_9$-based Ferroelectric Memories
- Integration Process and Reliability for $SrBi_2$ $Ta_2O_9$-based Ferroelectric Memories
- ㆍ 저자명
- Yang. B.,Lee. S.S.,Kang. Y.M.,Noh. K.H.,Hong. S.K.,Oh. S.H.,Kang. E.Y.,Lee. S.W.,Kim. J.G.,Shu. C.W.,Seong. J.W.,Lee. C.G.,Kang.
- ㆍ 간행물명
- Journal of semiconductor technology and science
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|1권 3호|pp.141-157 (17 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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