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A High Density MIM Capacitor in a Standard CMOS Process
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  • A High Density MIM Capacitor in a Standard CMOS Process
  • A High Density MIM Capacitor in a Standard CMOS Process
저자명
Iversen. Christian-Rye
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2001년|1권 3호|pp.189-192 (4 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A simple metal-insulator-metal (MIM) capacitor in a standard $0.25{;}mu extrm{m}$ digital CMOS process is described. Using all six interconnect layers, this capacitor exploits both the lateral and vertical electrical fields to increase the capacitance density (capacitance per unit area). Compared to a conventional parallel plate capacitor in the four upper metal layers, this capacitor achieves lower parasitic substrate capacitance, and improves the capacitance density by a factor of 4. Measurements and an extracted model for the capacitor are also presented. Calculations, model and measurements agree very well.