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2축 층밀리기 간섭계의 계통오차 보정
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  • 2축 층밀리기 간섭계의 계통오차 보정
저자명
김승우,이혁교
간행물명
한국광학회지
권/호정보
2002년|13권 2호|pp.98-104 (7 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

비구면 광학부품의 수차 측정 및 성능 평가를 위해 특별 설계된 층밀리기 간섭계를 소개하고, 이와 더불어 층밀리기 간섭계가 갖는 자체의 계통오차를 측정결과로부터 제거하기 위한 보정 방법을 제안한다. 층밀리기 간섭계의 계통오차는 크게 간섭광학계가 갖는 광학오차와 간섭계의 기구부의 불완전에 기인한 층밀리기 방향의 직교오차로 구분할 수 있다. 이들 두 계통 오차들은 모두 본 논문에서 제안하는 방법으로 모두 보정될 수 있다. 보정 방법은 측정 대상물을 간섭계의 광축을 중심으로 회전하여 측정결과로부터 계통오차를 분리하는 자가보정 원리에 근거한다.

기타언어초록

We present a new self-calibration method to remove the systematic error of a 2-axis lateral shearing interferometer that has been specially designed for optical testing of aspheric optics. The method takes multiple measurements by rotating the test optics and extracts the systematic error by fitting the measured wavefronts into the Zernike polynomials. The method works with arbitrary azimuthal angles for test optics rotation, which offers an advantage of correcting the error induced by the non-orthogonality of the two axes of wavefront shearing as well as the error caused by the optical components of the interferometer system itself.