- Water Swelling을 이용한 Fluorine함유 저온소결 기판의 제조
- ㆍ 저자명
- 윤영진,최정헌,이용수,강원호
- ㆍ 간행물명
- 마이크로전자 및 패키징 학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2002년|9권 2호|pp.19-25 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국마이크로전자및패키징학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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저온소결기판을 위하여 green sheet를 제조하기 위한 조성으로 $Li_2$O.MgO. $MgF_2$.$SiO_2$.$B_2O_3$를 기초 조성으로 선정하였다. 조합 후 용융하여 만들어진 모유리는 열분석을 통하여 최적 핵형성 온도와 최고 결정성장 온도를 도출하였으며 핵형성 온도는 전이온도와 같은 $490^{circ}C$로 선정하였다. 결정화 유리를 제조하기 위하여 두 단계의 열처리를 실시하였으며 , 생성된 결정상은 Lithium fluorhectorite와 Lithium boron fluorphlogopite결정상 이었다. 계속적으로 제조된 결정화 유리는 water swelling 현상을 이용하여 분말화를 실시하였으며 평균 입도크기는 2.574 $mu extrm{m}$이었다. glass ceramics 분말은 물에 넣으면 반응하여 팽창하는 것과 함께 끈적끈적한 sol이 생성되는 현상을 이용하여 green sheet 제조를 위한 slurry를 제조하였다. Tape casting을 위한 slurry의 결정화 유리 분말 대비 용매의 최적 비율은 100:18이었고, 슬러리의 점도는 11,000~14,000cps 이었다. KCl 1 M용액 10min담지 시편에 대해서는 $900^{circ}C$에서, 20 min담지 시편에 대해서는 $800^{circ}C$에서 각각 치밀한 소결성을 나타내었다.
Glass composed of $Li_2$O.MgO. $MgF_2$.$SiO_2$.$B_2O_3$ for the fabrication of green sheet was prepared by melting process, and glass ceramics was prepared by the process of nucleation and grystal growth for the glass of $Li_2$O.MgO. $MgF_2$.$SiO_2$.$B_2O_3$ system with Lithium fluorhectorite and Lithium boron fluorphlogopite crystal phase. Powderization of the glass ceramics was carried out by water swelling. The average particle size at this point was 2.574 $mu extrm{m}$. Slurry was prepared for green sheet using high viscous sol fabricated by water swelling, which shows cleavage phenomenon in prepared glass ceramics. The optimum ratio of powder to water for the tape casting was 18:100, and its viscosity was 11,000~14,000 cps.