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Bi 초전도 박막의 부착계수 해석
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  • Bi 초전도 박막의 부착계수 해석
저자명
천민우,박용필,이성일
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2002년|15권 11호|pp.997-1002 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

BSCCO thin films are fabricated by an ion beam sputtering method, and sticking coefficients of the respective elements are evaluated. The sticking coefficient of Bi element in BSCCO film formation was observed to show a unique temperature dependence; it was almost a constant value of 0.49 below about 730$^{circ}C$ and decreased linearly over about 730$^{circ}C$ In contrast, Sr and Ca, displayed no such remarkable temperature dependence. This behavior of the sticking coefficient was explained consistently on the basis of the evaporation and sublimation processes of Bi$sub$2/O$sub$3/. It was concluded that Bi(2212) thin film constructs from the partial melted Bi(2201) phase with the aid of the liquid phase of Bi$sub$2/O$sub$3/.