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삼차원 좌표 측정을 위한 부피 간섭계의 오차분석 및 성능평가
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  • 삼차원 좌표 측정을 위한 부피 간섭계의 오차분석 및 성능평가
저자명
이혁교,주지영,김승우
간행물명
한국광학회지
권/호정보
2002년|13권 6호|pp.521-529 (9 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 연구에서는 삼차원 공간상에서 절대 좌표를 측정하기 위한 부피 간섭계의 오차원인을 분석하고 각 오차원인이 최종 결과에 미치는 영향을 계산했다. 계산결과 광검출기 배열의 비선형성, 압전소자의 비선형성, 광섬유 내부의 온도변화 둥이 오차의 주요 원인임을 알 수 있다. 제안된 간섭계의 성능을 실험적으로 검증하기 위해 분해능 측정 및 이차원 광학식 스케일과의 비교를 수행했다. 또한 간섭계의 성능을 좀 더 엄밀하게 검증하기 위해 자가보정법을 적용해서 공간상에서 간섭계가 갖는 계통오차를 추출했으며 60mm$ imes$60mm$ imes$20mm공간에서 최대오차 1 $mu extrm{m}$ 이하를 얻었다.

기타언어초록

We have recently proposed the new concept of a phase-measuring volumetric interferometer that enables us to accurately measure the xyz-coordinates of the probe without metrology frames. The interferometer is composed of a movable target and a fixed photo-detector array. The target is made of point diffraction sources to emit two spherical wavefronts, whose interference is monitored by an array of photo-detectors. Phase shifting is applied to obtain the precise phase values of the photo-detectors. Then the measured phases are fitted to a geometric model of multilateration so as to determine the xyz-location of the target by minimizing least square errors. The proposed interferometer has been designed and built with a volumetric uncertainty of less than 1.0 $mu extrm{m}$ within a cubic working volume of side 120 mm. Here, in this paper, we also present error sources, an evaluated uncertainty, and test results from the prototype system. The self-calibration of two-dimensional precision metrology stages is applied to test the performance of the interferometer.