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격자형 및 평형 구조를 가지는 박막공진 여파기에 관한 연구
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  • 격자형 및 평형 구조를 가지는 박막공진 여파기에 관한 연구
저자명
김건욱,구명권,육종관,박한규
간행물명
韓國電磁波學會論文誌
권/호정보
2002년|13권 10호|pp.1048-1053 (6 pages)
발행정보
한국전자파학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 논문에서는 2 GHz 대역의 격자형 및 평형 구조를 가지는 박막공진 여파기를 설계, 제작하고 분석하였다. 단위공진자의 앞전물질은 AIN를 사용하였고, 전극도체로는 백금을 사용하였으며, 하부도체와 기판사이에 공기층이 있는 구조로 제작되었다. 제작된 여파기들은 크기가 작고 낮은 삽입손실과 격자형의 경우 약 15 dB, 평형 구조의 경우 약 30 dB 정도의 선택도를 가진다. 격자형 및 평형 구조는 사다리형 구조와 같이 실리콘 기판위에 제작되었으며, 사다리형 구조에 비해 넓은 대역폭을 가지며 평형구조의 경우 이외의 튜닝과정 없이 RF 여파기로 사용될 수 있다.

기타언어초록

In this paper, thin film bulk acoustic resonator(TFBAR) lattice and balanced type filter topologies are designed and fabricated. Aluminium nitride and platinum are used for piezoelectric material and top and bottom electrodes, respectively. Air-gap is placed to avoid silicon substrate loading effect and the performance of these lattice and balanced filters is compared with ladder filters. These filters have selectivity over 15 dB for lattice type and 30 dB for balanced type and reveal wider bandwidth of the ladder filters. For balanced type filters, minor tuning procedure is not needed and they are readily available for RF filter in wireless applications.