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Fabrication of 3D Microstructures with Single uv Lithography Step
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  • Fabrication of 3D Microstructures with Single uv Lithography Step
  • Fabrication of 3D Microstructures with Single uv Lithography Step
ㆍ 저자명
Han. Man-Hee,Lee. Woon-Seob,Lee. Sung-Keun,Lee. Seung S.
ㆍ 간행물명
Journal of semiconductor technology and science
ㆍ 권/호정보
2002년|2권 4호|pp.268-272 (5 pages)
ㆍ 발행정보
대한전자공학회
ㆍ 파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
ㆍ 주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents a novel microfabrication technology of 3D microstructures with inclined/rotated UV lithography using negative photoresist, SU-8. In some cases, reflected UV as well as incident UV is used to form microstructures. Various 3D microstructures are simply fabricated such as embedded channels, bridges, V-grooves, truncated cones, and so on.

키워드

3D microstructureSU-8inclined/rotated UV lithographyreflected UV

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