z-cut $LiNbO_3$ 기판위에 3-section, 5-section 위상반전 전극을 가진 Mach-Zehnder형 진행파 광변조기를 설계 및 제작하였다. FDM(Finite Difference Method : 유한 차분법)을 이용하여 광도파로를 설계하였으며, MW(Microwave)전극 taper영역의 입${cdot}$출력단에서는 CMM(Conformal Mapping Method: 등각사상법)을, 변조영역에서는 SOR(Successive Over Relaxation: 반복 이완법)을 이용하여 설계를 수행하였다. 제작된 소자의 S 파라미터를 측정하였다. 측정된 S파라미터를 이용하여 이론적으로 주파수응답 R(${omega}$)을 구하였다. 3-section 전극의 경우 중심 주파수 25GHz에 ${sim}$15GHz의 대역폭, 5-section의 경우 중심 주파수 45GHz에 ${sim}$22GHz의 대역폭을 갖는 bandpass 동작을 나타낼 것으로 예측되었다.
Mach-Zehnder type traveling-wave optical modulators with 3-section and 5-section phase reversal were designed and fabricated on z-cut $LiNbO_3$ substrates. Optical waveguides were designed by means of the FDM(Finite Difference Method). Design of CPW traveling-wave electrodes were performed by the SOR(Successive Over Relaxation) in the active region and by the CMM(Conformal Mapping) in the input/output section. The optical response R(${omega}$ calculated based on the measured S-parameters showed the bandwidth of 15GHz centered at 25GHz for the 3-section, and the bandwidth of 22GHz at 45GHz for the 5-section.
